测量纳米级粗糙度的时候可以用现代先进光学仪器-白光干涉仪。
白光干涉仪又叫做非接触式光学3D表面轮廓仪，是以白光干涉扫描技术为基础研制而成用于样品表面微观形貌检测的精密仪器。利用光波干涉原理 将被测表面的形状误差以干涉条纹图形显示出来，并利用放大倍数高的显微镜将这些干涉条纹的微观部分放大后进行测量，以得出被测表面粗糙度，可以轻松测量表面粗糙度。
白光测量的粗糙度范围从0.1nm到10μm别。面和线粗糙度测量，可确保0.1nm的测量可靠性，不限制材质和形状。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造等领域，可测从纳米到微米级别工件的粗糙度。
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